L79/HCS系統(tǒng)可用于半導(dǎo)體組件性能表征，包括:遷移率，電阻率，載流子濃度和霍爾常數(shù)。
基本型提供不同形狀和溫度條件下所需的樣品支架。選配低溫（液氮）附件結(jié)合高溫爐（溫度可達(dá)800°C）可確保涵蓋所有應(yīng)用領(lǐng)域。永磁體和電磁鐵可提供高達(dá)幾特斯拉強(qiáng)度的固定或者可變磁場。
樣品支架位于密封的真空測量室，測量室設(shè)有進(jìn)出氣體口，可在受控及可變的氣氛下進(jìn)行測量。不同的樣品支架可用于從LN2至800℃進(jìn)行測量。
可選的實(shí)際磁場強(qiáng)度可以在高達(dá)150℃的溫度下測量。測量過程中，在滑軌上的兩個(gè)磁路可以移動組裝，可將磁通量從正變?yōu)榱闵踔翞樨?fù)，因此樣品無需移動。
電阻率和電導(dǎo)率
霍爾常數(shù)和遷移率
載流子濃度
高溫霍爾測量
易于操作
集成裝置
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型號 |
L79 HCS |
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溫度范圍 |
從LN2 至 800°C （不同配置） |
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輸入電流 |
5nA 至 125 mA |
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霍爾張力 |
1 μV 至 2500 μV |
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數(shù)字分辨率 |
300 pV |
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樣品幾何形狀 |
從 5 x 5 mm 至 25 x 25 mm 高度最大 5 mm |
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磁場 |
Basic: 永磁鐵，最高0.7 T；磁極直徑90 mm
電源 75A / 40V. |
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傳感器 |
提供不同的可交換傳感器配置 |
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電阻率范圍 |
10-4 至 107 (Ω/cm) |
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載體密度 |
107 至 1021 (1/cm3) |
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遷移率 |
1 至 107 (cm2/Volt sec) |
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重復(fù)性/準(zhǔn)確性 |
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電阻率 |
± 3% (大多數(shù)材料) |
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霍爾常數(shù) |
± 5% (大多數(shù)材料) ± 6% (大多數(shù)材料) |
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氣氛 |
真空，惰性，氧化，還原 |
多種傳感器可用于不同的：
樣品量
溫度范圍
可選永磁鐵或電磁鐵。
淬火冷卻附加裝置，可在80K下進(jìn)行測量。
控制液氮冷卻的KREG和Dewar。
用于自動化測量的電動線性平臺。
規(guī)定大氣的氣體進(jìn)出口。
